Kurzbeschreibung
Prof. Dr. Christian Rödel, Professor an der Hochschule Schmalkalden, will im Projekt EUV-4-LITHO eine kompakte EUV-Quelle entwickeln und Komponenten für die EUV-Maskeninspektion und -Lithografie optimieren, die in den neuesten Maschinen zur Chipherstellung eingesetzt werden können.